锂离子电池的生产加工，是由一个个工艺流程严实联系起来的全过程。总体而言，锂电的生产制造包含片生产制造工艺、锂电芯制做工艺及其电池装工艺。在这里三个环节的工艺中，每道工艺过程又可分成数道重要工艺，每一步都是会对充电电池的特性产生非常大的危害。因此低温等离子表面处理机器在锂电领域的运用应时而生。

等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除**污染物、油污或油脂.

因为涂布工艺对基材的表面张力有很高的规定，因此等离子清洗机能地处理这个问题。在磁控溅射、喷涂、黏合、电焊焊接、锡焊和PVD、CVD镀层以前，铝铂金属材料表面常常会出现植物油脂、油渍等**化合物和空气氧化层，这种都必须清理解决，才可以获得清洁、无空气氧化的表面。但目前技术性大部分选用化学水处理方式，必须**溶剂，不环境保护，又易造成“碱脆”状况，除污实际效果不理想化，除污速度比较慢，且易危害铝铂的物理性能指标值，应用等离子清洗表面处理机器可处理以上问题。

锂电池的正电池正材料是将锂电池正负原材料涂敷在金属材料薄携带，金属材料薄带在涂敷金属电时，必须清理金属材料薄带，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原湿试清理，易毁坏锂电的别的构件。干式清理的等离子清洗设备能合理处理以上问题。