等离子清洗机去除光学元件污染物

2022-03-30 浏览次数:238
光学元件等离子清洗去除表面**污染物

光学元件等离子体清洗机去除附着的**污染物,恢复元件的光学性能和表面形貌,同时不能降低其抗污染性能。

等离子清洗Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机等离子活化机Plasma清洗机等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除**污染物、油污或油脂.


低温等离子体清洗机有效恢复光学元件的选择透过性能和抗激光损伤性能;可以有效去除光学元件表面附着的**污染物,不会造成二次污染;等离子清洗机有效恢复光学元件的表面形貌,实现对光学元件的全面恢复效果。

低温等离子体清洗机不会改变光学元件增透膜成分,反应过程中会形成表面羟基,使元件表面自由能及其级性分量提高,显著增强元件的表面润湿性;不会损伤光学元件,并且可以提高元件的抗**物污染能力。
等离子清洗机与湿法清洗工艺相比,等离子清洗机不需要使用强酸、强碱等溶液,不需要后期的烘干过程,也无废水处理的要求,是经济环保、**次污染的清洗方法。

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