等离子清洗机对晶圆的表面处理

plasma等离子清洗机在晶圆领域的应用

1.plasma等离子清洗机针对晶圆表面处理之后，可以获得钻孔小，对表面和电路的损伤小，达到清洁、经济和安全的作用。等离子清洗机制刻蚀均匀性好，处理过程中不会引入污染，洁净度高。

等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。等离子清洗机能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力 

2、plasma等离子清洗机能通过等离子产生的自由基将高分子聚合物去除干净，包括在很深且狭窄尖锐的沟槽里的聚合物。 我们都知道一个物理常识，如果孔洞转角尖锐，金属液体是很难流进去的。那是因为尖锐的转角增加了它表面的张力，从而影响了金属液体流动。而plasma等离子清洗机可以将很深洞中或其他很深地方将光刻胶的残留物去除掉，等离子清洗机能有效去除表面残胶。