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等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用,将附着在物体表面的污垢剥离去除
等离子清洗机对材料进行等离子表面活化,还可以使材料表面由非性、难粘性转为有一定性、易黏性和亲水性,有利于粘结、涂覆和印刷。还可以避免过度活化,过度活化会导致蚀刻。
1.摄像头、指纹识别行业:软硬结合板金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清洁。
2.半导体IC领域:Wire Bonding 前焊盘的表面清洗 集成电路键合前的等离子清洗LED 封装前的表面活化和清洗陶瓷封装电镀前的清洗COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗
3.FPC PCB 手机中框等离子清洗、除胶。
4.硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
等离子清洗机的典型应用:
去除光刻胶photo-resist stripping
表面精密清洁surface precision cleaning
表面活化 surface modification
提高表面粘合性 bond strength enhancements
改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic
分子接枝 molecular grafting
涂层 plasma deposited coatings