常压等离子处理机，真空等离子清洗机

常压等离子清洗机系统由三大主要部分组成：

1、主机连接电源连接冷却的处理气体高射频电压等离子源控制模块气体控制模块前面板的操作控制系统。

2、传输气体和能量的柔性导管。

3、等离子喷头：由中间电、外部电和绝缘区域组成。

●  高压射频发生器将常电压转变成高电压（**过10KV），这对于形成高压放电是必须的。

●  高电压和冷却的处理气体是通过柔性导管传输到放电区域的。

●  气流中的活性元素(i+, e-, r *)会在放电区域内产生电弧。

●  活性气流在经过特殊的喷头口时被聚焦在样品表面上达到处理的效果。

●  等离子喷（动态旋转型）；大转速：3000转/分；处理宽度：3-60mm采用进口一体特.

应用领域

电浆等离子清洗机应用：

●  表面活化/清洗；●  等离子处理后粘合；●  等离子蚀刻/活化；●  等离子去胶；●  等离子涂镀(亲水,疏水)；●  增强邦定性。

真空等离子清洗机的基本结构

1、射频电源部分：射频源，射频调节，功率放大，功率调节，功率输出，输出保护，等离子电，温度保护。

2、系统控制部分：数字自控，I/O控制，真空度A/D检测，脉宽比例D/A调节，参数记忆，时钟设定。

3、真空与气路部分：真空系统，外加气体，流量调节，回气与管路

对于小型等离子清洗机而言，由于射频功率较小，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，一是减少空间的占用，二是便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上尽量简练。整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮，铝合金自动门：氧化处理、喷砂、光洁高.

真空等离子清洗机/大气等离子处理机有几种称谓，又称低温等离子体处理机,等离子处理器,等离子处理仪,低温等离子表面处理机,等离子处理设备，等离子体处理设备，电浆清洗机，电浆处理机，plasma处理机，plasma清洗机，等离子清洗器，等离子清洗仪，等离子刻蚀机，等离子去胶机，等离子体清洗机，等离子体清洗器，等离子体清洗设备。小型、中型及大型等离子表面处理设备广泛应用于实验室及工业生产等场合。等离子处理机改善材料表面润湿能力，等离子体清洗机使材料能够进行涂覆、涂镀、灰化等操作，增强粘合力、键合力，同时去除**污染物、油污或油脂。

等离子清洗-等离子处理-等离子刻蚀-等离子去胶-等离子活化-等离子体表面处理

等离子清洗机的应用领域包括：

> 半导体集成电路及微电子产业

> LCD液晶/LED封装,PCB线路板制造

> 等离子清洗机生物医疗材料表面改性修饰

> 精密仪器、机械及电气制造

> 等离子处理机聚合物薄膜、纺织纤维改性处理

> APR大气等离子清洗机手机触摸屏、平板电脑玻璃盖板清洗活化

> 等离子表面处理机器用于汽车制造、橡胶塑料产业